2種類のノズル＋AOIによる最適な塗布作業を実現するインラインタイプ基板コーティング装置。特徴は、①塗布ノズルは、フィルムコートノズル（推奨塗布幅：1...

2種類のノズル＋AOIによる最適な塗布作業を実現するインラインタイプ基板コーティング装置。特徴は、①塗布ノズルは、フィルムコートノズル（推奨塗布幅：1...

インラインタイプ「Pegasus-600I」と卓上タイプ「Pegasus-300F」を取り揃えた基板コーティング装置。特徴は、①インラインタイプの塗布...

電子顕微鏡向けタングステン薄膜コーティング装置。特徴は、①高分解能SEMにおいて高倍率の観察に活躍（20万倍以上）、②試料反転機構を装備し、グリッドメ...

オスミウム金属を非結晶でコーティングする導電被膜形成装置。特徴は、①1nm〜の極薄膜でもチャージなく、電子線ダメージを防止、②極薄膜から厚膜まで再現性...

実装基板の保護コーディングを自動化する実装基板防湿剤コーティング装置。特徴は、①実装基板の絶縁／防湿剤の塗布作業を自動化、②保護領域から飛散がなく、塗...