標準化により低コストを実現した高精度鉄製リニアステージ。特徴は、①半導体検査装置用途として海外での納入実績が豊富、②XYステージもラインアップ、③スト...

最小ストローク長20mmまたは40mmのリニアステージ。特徴は、①耐荷重10kg、②真空定格バージョンも利用可能、③コントローラまたはモータ内蔵モデル...

リファレンスクラスの精密リニアステージ。特徴は、①クロスローラベアリングを用いた高精度ステージは高い移動精度を実現し、特に一定速度が求められるスキャニ...