小型精密部品、電子部品などの内部状況を解析できるマイクロフォーカスX線検査装置。特徴は、①X線発生器は90kV、130kVの2種類から選択できる、②130万画素のFPDを搭載したことで、歪みのない鮮明な画像が撮影可能、③外観カメラを搭載したことで、視覚的に操作が可能になり、操作性が向上、④ガイド操作モードおよびソフトウエアの改善により、簡単に綺麗な画像が撮影できる、⑤座り作業、立ち作業のどちらでも使い勝手の良いデザインを採用、⑥試料扉の開口部と角度を改良することで、作業性が向上、など。