ウエハ上のはんだバンプの検査を自動で行い、判定する、クリーンルーム対応のX線ウエハバンプ自動検査装置。特徴は、①ウエハ内部のボイドをX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの直径（面積）を求め、基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査する、②X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のX線デジタルカメラを採用することで高解像度の画像を抽出でき、高精度ボイド検査が可能、③検査内容はバンプ直径、ボイド率、ボイド径、バンプ形状、④4000×4000画素=1600万画素X線フラットパネルを採用することで高速検査が可能、など。