大型基板700×600mmに対応したX線ステレオ方式3次元X線観察装置。特徴は、①X線出力／X線解像度：130kV、300μA、39W／4μm、②2D透過、斜め60度観察：700×600mm、③3D X線ステレオCT観察：600×600mm、④幾何学倍率：最低1.4倍〜最大2000倍、⑤V-CT（垂直CT）、P-CT（ななめCT）で3D検査（オプション）、⑥X線ステレオCT方式で500層のスライス画像を取得（オプション）、⑦スルーホールはんだ充填率測定、⑧2D/3D-CT自動検査、など。