ウエハ上のバンプを自動で検査、判定するX線ウエハバンプ自動検査装置。特徴は、①ウエハ内部のボイドをX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの直径（面積）を求め、基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査する、②X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のX線デジタルカメラを採用することで高解像度の画像を抽出でき、高精度なボイド検査を可能にしている、③検査内容は、バンプ直径、ボイド率、ボイド径、バンプ形状、など。