X線カメラにより、多層基板のパターン透視確認やパターン座標測定により基板の膨張／収縮／変形の分析や不良解析が行えるX線透過式2次元測定機。

特徴は、
①多層基板の製造工程の前後に測定データをフイードバックすることで品質の改善を実現する、
②X線カメラのズーム機能により大パターンから小パターンの高精度な測定が可能、
③X線基準穴明機で培ったX線技術により、安定した測定が可能、
④CCDカメラも搭載しており、X線では測定できない露光フィルムなども測定ができるため、多層基板製造工程でも工程ごとの分析が可能、
など。