15〜30Wの出力範囲でコンパクトかつ信頼性の高いUVレーザ。特徴は、①最大300μJのパルスエネルギーでUV平均出力15〜30Wを提供し、40000時間の連続使用に耐えるUV寿命を備え、5年以上24時間連続運転を可能にし、ダウンタイムとメンテナンス時間を大幅に削減、②ファーストパルス制御、パルスオンデマンド、位置同期出力などの高度な機能を搭載、③MKSにて実績のあるIt’s in the Box設計を活用し、すべてのコンポーネントが、コンパクトで軽量な単一のレーザヘッドに統合、など。