フレキシブルプリント基板への高周波対応基材／難接着性基材の接着力向上に最適な、インライン対応を可能にしたRoll to Rollエキシマ照射装置。特徴は、①基材ダメージが少ない、②エキシマ光による処理のため、基材最表面だけを改質することで伝送損失の要因となる基材粗化を起こさずに接着力を向上、③高い光源／雰囲気制御技術により、均一性の高い処理が可能、④従来工程への追加搭載／インライン処理が可能、⑤大気圧処理／コンパクト設計により、従来工程への追加搭載／インライン処理が可能なので、生産性の大幅な向上に貢献、⑥ドライ処理のためリンスや乾燥工程が不要、など。