高精度／低消費電力で、動作中に低消費電力動作モードから高分解能動作モードへと変更が可能な産業用MEMS加速度センサ。特徴は、①4種類の低消費電力モードが選択でき、高分解能モードでは最低90μg/√Hzの低ノイズを達成し、優れた測定精度を実現、②使いやすいワンショットデータ変換機能搭載、③CPUの処理を低減するためのバッチデータ格納用32レベルFIFOを装備、④温度センサと自己診断機能を内蔵、など。