ECRイオンビーム装置
EIS-200DE
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成膜/エッチング連続処理が可能なECRイオンビーム装置。特徴は、①1本のイオン銃を用いて、齢同一サンプルに対して、成膜とエッチングを、真空を破らずに連続的に行うことができる試料室とステージからなるシステム、②タッチパネルを採用したPCを搭載し、プロセス制御可能、③イージーオペレーションを実現し再現性の向上にも寄与、④Ar、Xeなどの不活性ガスに加え、O2やC3F8、CHF3などの活性ガスでも安定したプラズマが生成可能、⑤ニュートラライザを備え、石英ガラスなど絶縁物のエッチングも可能、など。
- 会社名
- (株)エリオニクス
- 所在地
- 東京都八王子市元横山町3-7-6
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