成膜／エッチング連続処理が可能なECRイオンビーム装置。特徴は、①1本のイオン銃を用いて、齢同一サンプルに対して、成膜とエッチングを、真空を破らずに連続的に行うことができる試料室とステージからなるシステム、②タッチパネルを採用したPCを搭載し､プロセス制御可能、③イージーオペレーションを実現し再現性の向上にも寄与、④Ar、Xeなどの不活性ガスに加え、O₂やC₃F₈､CHF₃などの活性ガスでも安定したプラズマが生成可能、⑤ニュートラライザを備え、石英ガラスなど絶縁物のエッチングも可能、など。