ASIL Dを要求されるシステムに対応可能な6軸3D MEMS慣性力センサ。特徴は、①独自の3D MEMS構造により、優れたバイアス安定性、低ノイズレベル、高い耐振動性を実現、②3軸の角速度と加速度をワンパッケージ化したことにより、自由な設置が可能、③異常信号の検出が可能なフェイルセーフ機能を搭載、④MEMS素子内部の動きから信号回路全体までの適切な動作を検証できる自己診断機能を搭載、⑤ISO26262に対応、⑥AEC-Q100規格に準拠、など。