6軸パラレルキネマティックピエゾステージ
SmarPod
ピボットポイントの指定でコントローラがリニア(XYZ軸)と回転/チルト(ΘxΘyΘz)の計6軸を自動制御する6軸パラレルキネマティックピエゾステージ。特徴は、①ファイバや光学系のアライメントやマイクロアセンブリングに最適、②円形タイプは、XY軸のリニアステージに傾斜されたリニアガイドのセットが円周方向に3個所配置されたSmarPodシリーズの標準タイプで、コンパクトなデザインながら高精度な位置決めが可能、③平行タイプは長ストロークのリニアステージをベースプレートに配置し、その上に直行した3軸のリニアステージと傾斜したリニアガイドを搭載、など。
- 会社名
- (株)フィジックステクノロジー
- 所在地
- 千葉県市川市南八幡4-2-5
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