4探針法によるセミオートシステムの4探針法シート抵抗／抵抗率測定システム。特徴は、①面内マルチポイント測定、2-D／3-Dマッピング表示が可能、②メタル膜厚換算表示機能搭載、③測定データはCSVファイル形式で出力可能、④厚さ／周辺／温度補正機能搭載、⑤測定レンジは、シート抵抗：5m〜10MΩ/□、抵抗率：1m〜300kΩ・cm、⑥半導体／太陽電池材料関連、導電性薄膜関連など、4探針で通電可能であれば原則測定可能、など。