高精度かつ高速な検査を実現する3D AOI。特徴は、①3D AOIセンサヘッド（TRSC-Ⅰ）を採用し、テレセントリックレンズ4Mega Pixel高速CMOSカメラ、R.G.B LED3段照明、軽量（3.8kg）、コンパクトなサイズ（カメラセンサ対比1/3）でメンテナンスおよびキャリブレーションが容易、②レーザーラインスキャン方式を採用しており、レーザーシートビームによる高精度かつ安定した測定を実現。Linear Scaleを適用し、スキャン動作がスムーズで振動の影響がない、③2D／3Dイメージを同時に取得して検査、④基板反りに追従、など。