小型パッケージながら大きな偏向角が可能な高速チップ／チルトピエゾミラーステージ。特徴は、①チップ／チルト角35mrad、高い光偏向角70mrad（〜4°）、②内蔵の歪みセンサにより、絶対位置制御、優れた再現性、高リニアリティ（全ストローク範囲にわたり0.25％以上）を実現、③ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数、④パラレルキネマティック設計によりダイナミクスが向上、など。