小型パッケージながら大きな偏向角が可能な高速チップ／チルトピエゾミラーステージ。特徴は、①チップ／チルト角35mrad、高い光偏向角70mrad（〜4°）、②歪みセンサによる高リニアリティ、③ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数、④パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上、⑤2つの同一平面直交軸と1つの固定ピボットポイントを特徴とするパラレル制御設計に基づいている、⑥イナーシャを最小限に抑えた先進のフレクシャ／レバー設計により、70mradのチップ／チルトレンジと、ミリセカンドレンジの高速応答を実現、など。