直交チップ／チルト軸が共通の回転中心をもち、両軸とも同じ性能特性を発揮するパラレル制御設計を採用した高速チップ／チルトピエゾステージ。特徴は、①チップ／チルト角5mrad、光偏向角10mrad（0.57°）、②パラレル制御設計によるダイナミクス、安定性およびリニアリティの向上、③最大12.7mmのミラー用、④高リニアリティの位置センサ、⑤ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数、など。