小型パッケージながら、大きな偏向角が可能な高速チップチルトピエゾミラーステージ。特徴は、①チップ／チルト角35mrad、②高い光偏向角70mrad（〜4°）、③歪みセンサによる高リニアリティ、④ダイナミックモーションと高速ステップアンドセトリングの高い共振周波数、⑤パラレルキネマティック設計によるダイナミクスの向上、⑥プリロード付きのPICMA高性能ピエゾアクチュエータを備え、高い信頼性と長寿命を実現、など。