厚さや反り（オプション）を非接触で測定できる高精度非接触厚さ測定装置。

特徴は、
①非接触のためワークに傷を付けず、コンタミもない、
②エア背圧方式のため、水濡れ状態のワークも測定可能、
③エア背圧方式のため、ワークの表面状態（膜の有無／膜の種類／表面色など）に依存せず、正確な測定が可能、
④校正ゲージで校正してワークを測定するだけで、熟練の必要がなく簡単に高精度計測が可能、
⑤表示分解能0.1μm、
など。