機械式タービン流量センサに代わる製品として設計された高精度液体流量センサ。特徴は、①脈動のある場合でも、コアにMEMSサーマルフローダイを備えているので、高精度かつ再現性のあるリニアなデジタル信号を供給、②可動部品がないので、クリーニング分解する必要がなく、目詰まりや故障が少ない、③流路に障害物（タービンなど）を入れないので、最小の流動抵抗を示し、重力、ボイラ、または低出力ポンプを介して液体を循環させることができる、など。