洗浄装置、薬液供給装置の高温流量計測に好適な高温液体用小口径超音波流量計。特徴は、①接液部はすべて特殊グレードのPFA成型品で構成され、稼動部がなく、液溜まりを生じやすいOリングなどの機械的シール部もない、②理想的なクリーン構造のため、半導体製造装置などのクリーン度の要求されるプロセスに最適、③SFC-010T変換器は薄型のDINレール取り付けタイプで、10m秒の高速サンプリング、④耐気泡性能を大幅に改善、など。