加熱11ゾーン、真空チャンバ、冷却4ゾーンを備え、確かな生産性と信頼性、メンテナンス性も兼ね備えた高性能真空リフロー装置。特徴は、①ピークゾーン後に真空チャンバがあり、ボイド率を99％削減、②上下に最大4つの冷却ゾーンがあり、あらゆる条件で最適な冷却勾配を設定可能、③基板投入、加熱ゾーン、真空モジュール、冷却ゾーンからなる独自のコンベアシステム構成、④真空チャンバでは潤滑剤不使用のローラコンベアを採用、など。