高圧マイクロジェット洗浄システム
MJシリーズ

洗浄工程における課題に対応する高圧マイクロジェット洗浄システム。特徴は、①洗浄液をポンプから加圧圧送し、マイクロジェットノズルから微小液滴化した洗浄液をワークに向かって高速噴射することで、ワーク上の微小パーティクルを剥離する、②洗浄液の粒子径と速度を制御して洗浄効果と効率を向上、③非金属タイプ、④噴出圧力:3〜12MPa、⑤半導体製造ライン向け、⑥ノズルごとのランダム噴射ができる、⑦10MPa噴出量が1.15ℓ/分の『MJ2800』と同3.45ℓ/分の『MJ2800T』の2機種をラインアップ、など。
- 会社名
- 旭サナック(株)
- 所在地
- 愛知県尾張旭市旭前町5050

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