三角測量法により、対物レンズをオートフォーカスさせ、対物レンズの移動量を検出することで表面の形状を計測する装置。主な仕様は、測定範囲：30〜500μm、分解能：0.5nm〜、測定範囲内スポット径：Approx3μm、測定精度：1％＋0.1μm〜1％＋0.8μm、繰り返し性：20nm、作動距離：1.5mm、など。