非接触式全自動測定システム
NC-6800
ベルト搬送による非接触(渦電流法)ウエハソーティングシステム。特徴は、①抵抗率、厚さ、PN判定をすべて非接触測定、②抵抗率は渦電流法、厚さは静電容量法を採用、③シリコンウエハ、GaP、InPなどの化合物半導体の生産管理に最適、④温度計、温度補正機能付き(シリコンウエハ)、⑤カセット数は要望によっていくつでも対応可能、⑥オプションでウエハフラットネス測定器(FLA−200)追加搭載可能、⑦測定対象:半導体/太陽電池材料関連(シリコン、ボリシリコン、SiCなど)、⑧測定サイズ:3〜8インチ、など。
- 会社名
- ナプソン(株)
- 所在地
- 東京都江東区亀戸2-36-12
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