標準測定レンジ30〜10000μmの幅広いラインアップの静電容量方式非接触変位計。特徴は、①導体であれば材質により感度が変わらない、②表面粗さの影響を受けない、③高い直線性：±0.05％以下、④低ノイズ：0.002％FS（rms）以下、⑤1kHzの応答速度（PS-IA-HSは5kHz）、⑥コンパクトなプローブ、⑦高真空や高温700℃対応も可能、⑧RoHS2対応、⑨微動ステージの位置決め、工作機械の偏心アライメント測定、HDD関連機構部品の精密寸法測定などに好適、など。