R＆D向け電子ビーム描画装置。特徴は、①加速電圧30kVを標準とし、加速電圧50kVやダイナミックフォーカス／スティグマ、ハイトセンサをもちいたフォーカス調整など、様々なオプションを用意し、オプションを組み合わせることで、最適な仕様にカスタマイズ可能、②新たな装置制御ソフトウエア『elms（エルムス）』を標準搭載し、作業性が格段にアップ、③低ダメージかつ高分解能なSEM観察を可能とするリターディングオプションを選択可能、など。