加速電圧150kV印加可能な、微細加工に特化した電子ビーム描画装置。特徴は、①シングルナノオーダーの微細加工が容易に行え、量子コンピュータなど最先端のデバイス開発やEUVリソグラフィ、ナノインプリントリソグラフィなど次世代リソグラフィ向けの材料開発のための評価装置としての使用に適する、②加速電圧150kVでビーム径を最小φ1.5nmまで細く絞ったビームにより4nm以下の微細加工が可能、③高加速電圧により電磁波ノイズに代表される外乱要因にも強く長時間安定して極細線描画が行える、④シングルカセットオートローダを標準搭載、など。