リニアシャフトを使用した送りねじ駆動装置。特徴は、①ねじを切ったナット／ねじが不要なボールスクリュー、②リニアシャフトで使用可能、長尺のストロークが可能、③ボールベアリングとリニアシャフトとの接触面のみで、回転運動を直線運動に変換、④リニアシャフトを回転運動させることにより、傾斜角度をもったボールベアリングがボールスクリューのリードに相当する量だけ直線運動を実現、⑤半導体製造装置／搬送装置のテーブル駆動として使用可能、など。