半導体装置の純水／薬液の流量管理を行う超音波小型液体流量計。特徴は、①配管を切断する必要のないクランプオン式センサ採用、②広いレンジアビリティ、③低消費電力（2.5VA以下）、④コンパクト設計、⑤測定原理：超音波伝播時間差演算方式、⑥環境条件：−10〜50℃、⑦積算流量／瞬間流量をLCDに表示（16文字×2行）、⑧測定項目：フルスケール流量／流量単位ほか、⑨出力：アナログ（DC4〜20mA）／パルス／警報接点、など。