半導体装置の純水、薬液の流量管理に適する超音波小型液体流量計。特徴は、①配管を切断する必要のないクランプオン式センサ採用、②広いレンジアビリティ、③低消費電力、④コンパクト設計、など。変換器の仕様は、測定原理：超音波伝播時間差演算方式、環境条件：温度…－10～50℃、表示部：LCD表示器（16文字×2行）、積算流量または瞬間流量、設定項目：フルスケール流量、流量単位、他、測定精度：±2％ RD（流速1～10m/s）ただし流体中心温度：±2℃ ±2cm/s（流速1m/s以下）、など。