Nanomotion社製で、7nmプロセスの半導体製造装置での運用を視野に入れ、高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現した超音波モータ。特徴は、①高真空アプリケーション、②サブナノメートルの位置決め精度、③優れたエネルギー変換効率、④幅広い動的な速度範囲、⑤ゼロバックラッシュと高い剛性、⑥電力なしでの静止保持力、⑦静かな動作音、⑧EMI（電磁妨害）が無視できる、⑨最新ドライバ製品AB7に対応、など。