高真空のチェンバの装置内で遠隔操作をするに場合に使用する低アウトガスの超音波アクチュエータ。特徴は、①小型な外形でありながら、移動量13mm、高速移動0.5mm/secを実現する、②摺動部分のグリースには、BARRIERTA SUPER IS/Vを使用する、③移動量：13mm、④分解能：＜1μm、⑤保持力：30N 15N、⑥最大移動速度：＞0.5mm/sec、⑦質量：0.2kg 0.1kg、など。