一次純水、超純水を連続的に供給する超純水製造装置。一時純水、超純水の供給能力は1000〜3000ℓ/hとなっている。小型一次純水製造装置の特徴は、①原水（市水）を処理し、一次純水を連続的に供給、②原水（市水）中の懸濁物質、残留塩素、イオン成分、シリカを除去し純度の高い一次純水を供給、など。小型超純水製造装置の特徴は、①一時純水を処理し、超純水を連続的に供給、②純水中のイオン成分、有機物、シリカ、微粒子を除去し、また生菌を殺菌し、純度の高い超純水を供給、など。