従来の汎用SEMよりも低加速電圧領域での分解能向上を実現した走査電子顕微鏡。特徴は、①高安定度、低ノイズの可変電圧をコア技術に、2つの対物レンズを搭載した同社独自の新光学系SEM「Dual Lens SEM」を開発、この技術により従来の汎用SEMでは難しい低加速電圧の高分解能な観察を可能にしている、②高加速電圧による試料表面近傍の内部情報の取得の他、試料最表面の高分解能な観察まで、様々なユーザーの使用目的に対応、③低加速の電圧ながら高分解能な観察が可能で試料最表面の観察などに最適なモードであるハイレゾ低加速モードを採用、など。