裏面研削用表面保護テープ貼付装置
RAD-3520F/12
回路形成後の半導体ウエハの裏面研削/薄型化加工時に、ウエハの回路面を保護する表面保護テープを貼付する装置。特徴は、①市場で高い評価を得ている従来機「RAD-3510F/12」の装置設計を見直し、各種性能と生産能力が向上、②省スペース化のニーズに応え、ロードポートと呼ばれるウエハ供給部を標準で2台搭載しながら装置サイズを従来機種と比較し約30%削減、③ウエハの処理能力は最大66%向上しており(60枚/時から70枚/時に向上。オプションで最大100枚/時)、高い生産能力を実現、④テープ1巻(100m巻)あたりのウエハ処理枚数をテープカットのピッチを短くすることで最大16%向上、など。
- 会社名
- リンテック(株)
- 所在地
- 東京都板橋区本町23-23
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