高い再現性を実現した表面力測定装置。特徴は、①最小荷重分解能0.4nNの荷重系、最小変位分解能0.3pmの高精度変位計を搭載し、サンプルの極表面に発生している微小な表面力と変位を再現性よく測定、②最大2000倍の光学観察系と高精度X-Yステージ（100nm/step）で、任意の微小領域を測定可能、③プローブを選択可能、④ナノインデンテーション試験機能を搭載でき、ISO-14577に準拠した押込み硬さや押込み弾性率が得られる、など。