薄膜スクラッチ試験機
CSR5100
μm以下の薄膜の密着強度を定量的に測定する薄膜スクラッチ試験機。特徴は、①材料表面に形成された薄膜と基材の密着強度を評価するスクラッチ法を進化させ、より薄い膜の剥離検出を実現したマイクロスクラッチ法(JIS R-3255)によって、膜厚がμm以下の薄膜の密着強度評価が可能、②薄膜の破壊検出に特化したマイクロスクラッチ法に加え、同社独自の技術による高感度破壊検出機構により、薄膜の付着強度を評価、③膜厚10nmの測定実績あり、④サンプルを加熱しての加熱環境下での評価が可能、⑤レンズなどの曲面測定が可能、⑥測定部位を事前に顕微鏡観察により位置設定可能、など。
- 会社名
- (株)レスカ
- 所在地
- 東京都日野市日野本町1-15-17
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