小型金属PKG からミラーデバイスやイメージングデバイスなどの大型金属PKGまで多品種に対応した、高精度なLid搭載機能付きシーム封止装置。特徴は、①Lid、PKG のそれぞれに専用認識カメラを配置し、高水準のLid 搭載精度を実現したことによりLidずれ不良を削減、②高速封止による生産性向上を実現、10mm/sec.で両辺を接合し、生産性の向上が図れる、③1台で□2mm から□150mmまでのPKG封止に対応、④フラットLid、キャップLid、窓付きLidに対応、⑤自在なプログラム設定によりワークダメージを軽減し接合品質を向上、など。