高効率／高清浄度／省エネ／省スペースを実現した自動カセット／BOX洗浄システム。

特徴は、
①最大8インチウエハ用容器まで対応可能、
②装置ローダ／アンローダ部に安全対策としてライトカーテンを設置、
③同社独自の純水ジェット洗浄方式で精密な洗浄を実現、
④ホットエア乾燥方式により、短時間での完全乾燥処理が可能、
⑤電力／純水使用量の省エネ化を実現、
⑥高輝度タッチパネルにより、操作性／安全性が向上、
など。