精密電動リニアステージ
X-LDM-AEシリーズ
コントローラ/ドライバ内蔵の精密電動リニアステージ。特徴は、①位置決め分解能<1nm、②高精度アナログリニアエンコーダ内蔵、③ストローク長:60/110/210mm、④最高分解能(最少移動単位):1nmG、⑤繰り返し精度:<80nm(0.08μm)、⑥位置決め精度:<1μm、⑦最高速度:1200mm/秒、最大加速度:3.5G、⑧ほかのZaber製品とデイジーチェーン接続が可能、⑨最大中心荷重:120N(約12kg)、⑩最大推力:60N、など。
- 会社名
- テクノロジーリンク(株)
- 所在地
- 東京都豊島区南池袋3-18-35
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