液晶用フォトマスク基板の表面形状／裏面形状／平坦度／厚さを測定する精密表面形状測定装置。特徴は、①各軸に高剛性エアスライダを採用、②大面積の高精度な評価が可能、③測定範囲、ソフトウエアのカスタマイズなど、ユーザーニーズに対応可能、④最大測定範囲：1300×1500mm（ユーザーニーズに対応）、⑤測定速度：200mm/秒、⑥駆動方式：リニアモータ（X軸）／サーボモータ（Y軸）、⑦測定ヘッド：非接触式レーザ変位計、など。