くさび機構を利用して、上下方向の精密位置決めを行うための精密昇降テーブル。特徴は、①くさび機構の案内部にローラタイプの直動案内機器CルーブリニアローラウェイスーパーXを2本並列に配置し、高精度な位置決めと高剛性を実現、②リニアエンコーダによるフルクローズドループ制御を行うことで、高い位置決め精度を実現、③長期メンテナンスフリーを実現、④2つの減速比をシリーズ化、⑤リミットセンサ、原点／原点前センサを標準装備、など。