同社開発の高精度エアスライダ、リニアサーボモータなどの採用により、優れた平面度測定を可能にした精密平面度測定装置。特徴は、①同社開発の多様な表示／解析ソフトウエアにより、簡単操作で豊富な表示解析、②金属／セラミックス／ガラス／各種ウエハなどの多様なワークを評価が可能、③測定ヘッドは交換可能、④測定ワーク着脱用に大小2種類の扉を備え、クレーンなどでワーク搭載可能となるよう作業性を考慮した設計、など。