1軸から3軸一体型、コンパクトサイズや長ストロークタイプなど、ラインアップが豊富な精密位置決めピエゾステージ。製品例としては、ストローク：（X）30μm、サイズ：□80×16mm、分解能：1nm、繰り返し精度：±1nm、共振周波数：1900Hz（0g）、耐荷重：10N（PS1H80-030U）／ストローク：（X）250μm、サイズ：□65×15mm、分解能：10nm、繰り返し精度：±10nm、共振周波数：360Hz（0g）、耐荷重：5N（PS1L65-250U）、など。