高い繰り返し精度（200nm）と位置決め精度（1μm）、最小移動ピッチ20nmを実現した精密リニアモータ駆動ステージ。特徴は、①分解能1nmリニアエンコーダにてダイレクト位置測定、②速度最大0.8m/秒、加速度最大4G、③ストロークは25／75／150mmから選択、④コントローラ内蔵：ほかのZaber社製品とのデイジーチェーン、⑤非接触式鉄心なしリニアモータによる高精度／高ダイナミックス／ゼロバックラッシを達成、など。