リファレンスクラスの精密リニアステージ。特徴は、①クロスローラベアリングを用いた高精度ステージは高い移動精度を実現し、特に一定速度が求められるスキャニングでの利用に適合、②アンチクリープシステムは､確実にケージクリープを防ぐ、様々な動作状況下でガイドは高精度かつ高耐荷重を実現、③高速および高加速度を実現するため、アイアンレス磁気直接駆動を採用、PIモーションコントローラによる正弦渡整流制御と摩擦のない駆動により、高い位置決め分解能が得られる、④Push/Pullフォースは自由に調整可能、⑤産業および研究、オートメーション、計測、フォトニクスなどの使用で適する。