高速昇降温／低コスト／短納期を実現する窒化アルミヒータ。特徴は、①ヒータ内に空気層が残らないよう、同社独自の生産工法による一体焼結を行っており、小型でも発熱量の大きなヒータを実現、②高融点発熱体と一体焼結法の組み合わせにより、高速昇温可能なヒータを提供、③アルミナヒータと比べ、耐熱衝撃性に優れる、④窒化アルミの高い熱伝導性と同社ノウハウによるヒータパターン設計が融合することにより、均一な温度特性を実現可能、など。