流量制御範囲：9〜300ℓ/minの空気用フローコントローラ。特徴は、①動作差圧範囲：0.05〜0.5MPa、②設定流量への到達時間：0.5秒以下（動作差圧0.3MPa、流量設定300ℓ/min時）、③制御精度：±3％F.S.、④ノングリース、⑤850gと軽量、⑥リニアモータを内蔵し、リニアモータに取り付けられた弁体を移動することで流れる流量を調整、⑦製品に流量指令信号が入力されると、内蔵の演算回路において流量センサで計測した流量と比較演算され、その値に基づいてリニアモータを駆動し、流量制御する。電源がOFFのときはリニアモータの永久磁石の吸引力でバルブを閉じる（ノーマルクローズ）、など。